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罗茨真空泵
罗茨真空泵是一种容积式真空泵，一对8字型转子在泵腔内以相反的方向同步旋转而完成吸气排气的。在工作过程中，转子与转子，转子与泵体之间始终保持一定的间隙，转子与转子间的间隙由一对同步齿轮调节，转子与端面间隙靠固定端的轴承调节，另一轴承自由游动。
罗茨真空泵最大的特点是在较低的入口压力下具有较大的抽气速率，但其排气口与进气口的压力差却不能太大（大泵压差约4000Pa，小泵压差约5000Pa），所以不能单独使用，需配置前级泵进行预抽，当入口压力达到一定数值时（-0.092MPa以上）方能启动。
罗茨真空泵抽气腔内无任何辅助液体，对工艺气体不产生污染。真空泵抽气腔两端的轴承及齿轮需要油润滑，但油腔与抽气腔间有轴封隔开。
气体在罗茨真空泵内虽然不产生内压缩，但在排气时会发生外压缩，压缩热会使转子、泵体及真空油温度升高，所以除个别小抽气量罗茨泵无水冷外，均在油腔内加有水冷装置