罗茨式真空泵

罗茨式真空泵，也称为罗茨鼓风机，是一种正排量泵，其工作原理是通过一对类似齿轮的旋转叶片捕获和输送气体，而无需内部压缩。当叶片旋转时，它们会产生连续的气体流，从而在相对较低的压力下实现高泵送速度。由于其设计简单，能够实现低至10^-3毫巴的真空度，罗茨式真空泵广泛应用于工业应用，包括化学加工、冶金和半导体制造。